Tato práce se věnuje přípravě plošných kovových struktur kombinací metod litografie elektronovým svazkem a liftoff. Cílem práce je aktualizovat postupy používané na katedře experimentální fyziky a dále ilustrovat využitelnost připravených struktur k měření elektrických vlastností uhlíkových nanotrubic. Během práce jsme se zaměřili na nedostatky používaných postupů a navrhli jsme jejich řešení. Výsledný postup může být použit pro přípravu široké škály struktur využitelných v oblasti nanotechnologií, fotoniky a dalších.This work is devoted to the preparation of planar metal structures by a combination of electron beam lithography and liftoff methods. The goal of the work is to update the procedures used at the Department of Experimental Physics and to further illustrate the usability of the prepared structures for measuring the electrical properties of carbon nanotubes. During the work, we focused on the shortcomings of the procedures used and proposed their solutions. The resulting procedure can be used for the preparation of a wide range of structures usable in the field of nanotechnology, photonics and others.