Horák, Tomáš
Optická elipsometrie [rukopis] / Tomáš Horák. -- 2016. -- 49 (55 203 znaků) + 1 CD s bakalářskou prací. -- Ved. práce Jan Podloucký. -- Oponent Josef Kapitán. -- Abstract: Tato práce se věnuje určení tloušťky tenké vrstvy metodou nulové elipsometrie na elipsometru LEOI-44. Za pomocí dvou sad úhlů nastavení polarizátoru a analyzátoru jsme schopni touto metodou zjistit výslednou tloušťku tenké vrstvy na substrátu.. -- Abstract: Calculation of thin film thickness on the base of null ellipsometry method with LEOI-44 Ellipsometer is carried out in this thesis. Two sets of angular setting of polarizer and analyzer allow to find refractive index and thickness values in the model of single homogenous layer.
Podloucký, Jan. Kapitán, Josef. Univerzita Palackého. Katedra optiky
Elipsometrie. elipsometr LEOI-44. analyzátor. polarizátor. tenká vrstva. index lomu. Ellipsometry. LEOI-44 Ellipsometer. Analyzer. Polarizer. Thin film. refractive index. bakalářské práce
(043)378.22