Number of the records: 1  

Napařování a měření tenkých vrstev v UV oblasti

  1. Title statementNapařování a měření tenkých vrstev v UV oblasti [rukopis] / Monika Nováková
    Additional Variant TitlesNapařování a měření tenkých vrstev v UV oblasti
    Personal name Nováková, Monika (dissertant)
    Translated titleDeposition and measurement of thin films in UV region
    Issue data2010
    Phys.des.62 s., 24 s. : il., grafy, tab.
    NoteVed. práce Jiří Kyvalský
    Another responsib. Kyvalský, Jiří (thesis advisor)
    Konkol, Tomáš (consultant)
    Křepelka, Jaromír (opponent)
    Another responsib. Univerzita Palackého. Katedra optiky (degree grantor)
    Keywords Elektromagnetické záření * ultrafialové záření * tenké vrstvy * spektrum * vakuová aparatura * spektrometrie * laser * Electromagnetic radiation * ultra-violet * thin films * spectrum colour * vacuum deposition system * spectrometers * laser
    Form, Genre bakalářské práce bachelor's theses
    UDC (043)378.22
    CountryČesko
    Languagečeština
    Document kindPUBLIKAČNÍ ČINNOST
    TitleBc.
    Degree programBakalářský
    Degree programFyzika
    Degreee disciplineOptika a optoelektronika
    book

    book

    Kvalifikační práceDownloadedSizedatum zpřístupnění
    74720-761281849.pdf132.1 MB30.04.2010
    PosudekTyp posudku
    74720-ved-319484859.pdfPosudek vedoucího
    74720-opon-458633271.pdfPosudek oponenta

    Vzhledem ke snaze dosáhnout větší hustoty prvků na integrační desce se stále zvyšují nároky na zařízení vyrábějící, resp. kontrolující integrační obvody pomocí laserové litografie. Ke zvýšení rozlišovacích schopnosti se využívají lasery se stále menší pracovní vlnovou délkou ležící v UV či DUV (hluboká UV z anglického jazyka deep, proto zkratka DUV) oblasti. Zařízení schopná pracovat v UV oblasti však vyžadují speciální optiku. V této práci se proto zaměřuji na výrobu a kontrolu optických kusů vhodných pro ultrafialovou oblast. Tato práce je zaměřena na výrobu a kontrolu optických kusů vhodných pro ultrafialovou oblast. První část práce obsahuje teorii týkající se výroby a kontroly optických tenkých vrstev, dále jsou zde uvedeny veličiny popisující spektrální vlastnosti optických tenkých vrstev, různé typy skel, tenkých vrstev a materiálů vhodných pro výrobu tenkých vrstev. V další části práce je popsán princip výroby tenkých vrstev (napařování) a následné měření spektrálních parametrů vrstev pomocí spektrometru doplněného měřením pomocí laseru. V závěrečné části je uveden podrobnější popis kontroly optických vlastností vybraného optického kusu i s výsledky měření.Because we want to get bigger volume density on the integrative desk, we need higher pretencion of machines, which created or controlled integrative perimetres by laser litografy. We use lasers with better abilities of distinction and smaller work wave lenght lying in UV or DUV area. Machines, which work in UV area, need a special optics. In my work Iconcetrate for the production and controll of optics areas, which we can use for ultra-violet area. This work is concetrated on production and control of optics applied in ultraviolet region. First part of the work includes theory regarding to production and control of optical thin films, further there are presented quantities describing spectral characteristics of optical thin films, variety of glass, thin films and materials suitable for production of thin films. In the following part of work the process of production of thin films is described including measurement of spectral parameters of films with the spectrometer and the laser. In the last chapter there is presented more detailed description of control of optical characteristics of an optical piece with the attached measured results.

Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.