Diplomová práca sa zaoberá princípom mapovania mikroskopického povrchu a využitia interferometrie s fázovým posunom pre bezkontaktné meranie. Je diskutované použitie optických zostáv s mechanicky pohyblivými komponentami a bez, pričom nepohyblivé komponenty sú použité v experimente v praktickej časti práce. Cieľom práce je experimentálne overiť použitie wire grid polarizátoru ako deliča zväzku v Mirau interferometri a variabilného retardéru z tekutých kryštálov pre zavedenie fázového posunu medzi interferujúcimi vlnami. Na záznam a jeho spracovanie je použitý program MATLAB.The thesis deals with the principle of microscopic surface mapping and the use of phase-shifting interferometry for non-contact measurement. The discussion in theoretical part includes details about differences between non-motionless and motionless mechanical components, while the motionless components are then used for the experiment presented in the practical part of the thesis. The aim of this work is to experimentally verify the use of a wire grid polarizer as a beamsplitter in a Mirau interferometer and a liquid crystal variable retarder to introduce a phase-shift between interfering waves. The MATLAB program is used for recording and data processing.