Number of the records: 1
Metoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou
Title statement Metoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou [rukopis] / Michal Peterek Additional Variant Titles Metoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou Personal name Peterek, Michal (dissertant) Translated title Phase retrieval method for higher NA objectives and projection optics Issue data 2020 Phys.des. 41 Note Oponent Jaroslav Řeháček Ved. práce Bohumil Stoklasa Another responsib. Řeháček, Jaroslav (opponent) Stoklasa, Bohumil (thesis advisor) Another responsib. Univerzita Palackého. Katedra optiky (degree grantor) Keywords Phase retrieval * bodová rozptylová funkce * Debye-Wolfův integrál * Nijboer-Zernike teorie * litografie * Phase retrieval * point spread function * Debye-Wolf integral * Nijboer-Zernike theory * lithography Form, Genre diplomové práce master's theses UDC (043)378.2 Country Česko Language čeština Document kind PUBLIKAČNÍ ČINNOST Title Mgr. Degree program Navazující Degree program Fyzika Degreee discipline Optika a optoelektronika book
Kvalifikační práce Downloaded Size datum zpřístupnění 00225638-405656128.pdf 45 3.5 MB 02.06.2020 Posudek Typ posudku 00225638-ved-636068172.pdf Posudek vedoucího 00225638-opon-492023871.pdf Posudek oponenta Průběh obhajoby datum zadání datum odevzdání datum obhajoby přidělená hodnocení typ hodnocení 00225638-prubeh-519608056.pdf 01.03.2017 02.06.2020 23.06.2020 1 Hodnocení známkou
Měření vlnových aberací objektivů a projekční optiky s vyšší numerickou aperturou (NA > 0.3) je problematické díky systematickým chybám pomocné optiky měřícího zařízení. Metoda Phase retrieval z intenzitních skenů fokálního regionu nevyžaduje pomocnou optiku a tudíž tento problém překonává. Je ovšem závislá na použitém difrakčním modelu, který u vyšších numerických apertur nabývá na složitosti a vektorové povahy. Obsahuje též parametry závislé na samotné měřené optické soustavě. Cílem práce je stanovení difrakčního modelu pro tuto metodu při NA > 0.3 a praktická implementace algoritmu, jakož i stanovení vlivu systematických chyb na výsledek. Další výhodou, kterou by měla práce zkoumat, je možnost simultánního měření několika polních bodů najednou, což je vlastnost velmi výhodná pro praktickou justáž optických soustav, kde postupné proměřování jednotlivých polních bodů vede na neprakticky dlouhé justážní časy. Práce by měla adresovat možnost dosažení co nejvyšší rychlosti Phase retrieval metody s cílem alespoň 1~Hz.\\Measurement of wave aberrations of lenses and projection optics on higher numerical aperture (NA > 0.3) is problematic due to systematic errors of the auxiliary optics of the measuring device. The Phase retrieval method from intensity scans of the focal region does not require auxiliary optics and therefore overcomes this problem. However, it strongly depends on the diffraction model used, which acquires complexity and vector nature at higher numerical apertures. The aim of the thesis is to determine the diffraction model for this method at NA > 0.3 and the practical implementation of the algorithm, as well as to determine the effect of systematic errors on the result. Another advantage that the work should examine is the possibility of simultaneous measurement of several field points at once, which is a very advantageous feature for practical adjustment of optical systems, where the gradual measurement of individual field points leads to impractically long adjustment times. The work should address the possibility of achieving the highest possible speed of the Phase retrieval method with a goal of at least 1Hz.
Number of the records: 1