Práce se zabývá charakteristikou a přípravou naprášených a napařených vrstev kovů s ohledem na srovnání tlouštěk vrstev různými metodami. Výstupem je posouzení shody údajů o tloušťce vrstvy z různých přístrojů.Main subject of this work is characterization and preparation of sputtered and evaporated layer of metals with regard to comparison of layer's thickness obtained by different methods.