Práce se zabývá nanoindentačním testováním provedeným při různých parametrech testu, jako je doba zatěžování, odlehčování, a výdrže na maximální hodnotě zatížení, a vlivem těchto parametrů na vypočítané hodnoty tvrdosti a redukovaného modulu pružnosti. Toto je zkoumáno pro dva různé přístupy nanoindentačního testování klasický indentační cyklus a cyklus s částečným odlehčením. Testování proběhlo na oceli AISI 304, polykarbonátu a taveném křemeni.This thesis covers nanoindentation testing during performed at changing of various experimental parameters, like time of loading, dwell and unloading, and endurance on maximum value of load, and their effect of these parameters on measured values of hardness and reduced elastic modulus. This is studying for two different cycles approaches were used: classical indentation cycle and load-partial-unload cycle. Berkovich and spherical indenters were used for testing Tested materials were of stainless steel AISI-304, polycarbonate and fused silica.