Number of the records: 1
Metody tvorby základních struktur pro nanoelektroniku
Title statement Metody tvorby základních struktur pro nanoelektroniku [rukopis] / Tomáš Ingr Additional Variant Titles Metody tvorby základních struktur pro nanoelektroniku Personal name Ingr, Tomáš (dissertant) Translated title Methods of creation basic structures for nanoelektronics Issue data 2014 Phys.des. 73 s. (86 251 znaků) + 1 CD Note Oponent Miroslav Mašláň Ved. práce Milan Vůjtek Another responsib. Mašláň, Miroslav, 1957- (opponent) Vůjtek, Milan (thesis advisor) Another responsib. Univerzita Palackého. Katedra experimentální fyziky (degree grantor) Keywords Nanolitografie * mikroskop AFM Explorer * NTEGRA Aura * elektronová litografie * lokální oxidační nanolitografie * lokální anodická oxidace * Nanolitography * microscope AFM Explorer * NTEGRA Aura * electron beam lithography * local oxidation nanolithography * local anodic oxidation Form, Genre diplomové práce master's theses UDC (043)378.2 Country Česko Language čeština Document kind PUBLIKAČNÍ ČINNOST Title Mgr. Degree program Navazující Degree program Fyzika Degreee discipline Nanotechnologie 
book
Kvalifikační práce Downloaded Size datum zpřístupnění 00187480-866511404.docx 28 10.3 MB 09.05.2014 Posudek Typ posudku 00187480-ved-735823546.pdf Posudek vedoucího 00187480-opon-784621233.pdf Posudek oponenta Průběh obhajoby datum zadání datum odevzdání datum obhajoby přidělená hodnocení typ hodnocení 00187480-prubeh-512372535.pdf 18.11.2013 09.05.2014 02.06.2014 1 Hodnocení známkou
Tato diplomová práce se zaobírá tvorbou nanostruktur pomocí lokální oxidační nanolitografie. Na přístroji NTEGRA Aura se provádí lokální oxidační nanolitografie a přístroj mikroskop AFM Explorer se upravuje pro provoz lokální oxidační nanolitografie.This master thesis is directed for the creation of nanostructures by local oxidation nanolithography. NTEGRA Aura is used for local oxidation nanolithography and microscope AFM Explorer is modified for the operation of local oxidation nanolithography.
Number of the records: 1