Number of the records: 1
Micro process engineering
Title statement Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications / edited by Norbert Kockmann Issue data Weinheim : Wiley-VCH, c2013 Phys.des. xxii, 507 s. : il. ISBN 978-3-527-33500-8 (brož.) Edition Advanced micro and nanosystems Internal Bibliographies/Indexes Note Obsahuje bibliografické odkazy a rejstřík Another responsib. Kockmann, Norbert (editor) Subj. Headings průmyslové inženýrství production engineering * mikrotechnologie microtechnology Form, Genre sborníky miscellanea Conspect 62 - Technika všeobecně UDC 658.5:005.12 , 62-022.53 , (082) Country Německo Language angličtina Document kind Books 
book
Call number Barcode Location Sublocation Info F/1042 (PřF) 3134037764 PřF PřF, KEF - Mgr. Vůjtek In-Library Use Only
Number of the records: 1