Number of the records: 1  

Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

  1. Title statementFundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II, Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou
    Personal name Madou, Marc J., 1953- (author)
    Edition statement3rd ed.
    Issue dataBoca Raton, Fla. : CRC Press, Taylor & Francis Group, c2012
    Phys.des.xiii, 656 s. : il. (převážně barev.)
    ISBN978-1-4200-5519-1 (váz.)
    978-0-8493-3180-0 (soubor)
    Internal Bibliographies/Indexes NoteObsahuje bibliografické odkazy a rejstřík
    Subj. Headings mikroelektromechanické systémy microelectromechanical systems * nanoelektromechanické systémy nanoelectromechanical systems * výrobní technologie manufacturing technology
    Form, Genre monografie monographs
    Conspect621.38 - Elektronika
    UDC 621.38.049.77-022.53 , 621.38.049.76-022.532 , 62:005.83 , (048.8)
    CountrySpojené státy americké
    Languageangličtina
    Document kindBooks
    View book information on page www.obalkyknih.cz

    book

    Call numberBarcodeLocationSublocationInfo
    F/887-2 (PřF)3134033712PřFPřF, KEF - Mgr. VůjtekIn-Library Use Only

Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.