Number of the records: 1
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
Title statement Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II, Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou Personal name Madou, Marc J., 1953- (author) Edition statement 3rd ed. Issue data Boca Raton, Fla. : CRC Press, Taylor & Francis Group, c2012 Phys.des. xiii, 656 s. : il. (převážně barev.) ISBN 978-1-4200-5519-1 (váz.) 978-0-8493-3180-0 (soubor) Internal Bibliographies/Indexes Note Obsahuje bibliografické odkazy a rejstřík Subj. Headings mikroelektromechanické systémy microelectromechanical systems * nanoelektromechanické systémy nanoelectromechanical systems * výrobní technologie manufacturing technology Form, Genre monografie monographs Conspect 621.38 - Elektronika UDC 621.38.049.77-022.53 , 621.38.049.76-022.532 , 62:005.83 , (048.8) Country Spojené státy americké Language angličtina Document kind Books 
book
Call number Barcode Location Sublocation Info F/887-2 (PřF) 3134033712 PřF PřF, KEF - Mgr. Vůjtek In-Library Use Only
Number of the records: 1