Number of the records: 1
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
Title statement Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume I, Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology / Marc J. Madou Personal name Madou, Marc J., 1953- (author) Edition statement 3rd ed. Issue data Boca Raton, Fla. : CRC Press, Taylor & Francis Group, c2012 Phys.des. xiii, 641 s. : il. (převážně barev.) ISBN 978-1-4200-5511-5 (váz.) 978-0-8493-3180-0 (soubor) Internal Bibliographies/Indexes Note Obsahuje bibliografie, bibliografické odkazy a rejstřík Subj. Headings mikroelektromechanické systémy microelectromechanical systems * nanoelektromechanické systémy nanoelectromechanical systems * fyzika pevných látek solid state physics Form, Genre monografie monographs Conspect 621.38 - Elektronika UDC 621.38.049.77-022.53 , 621.38.049.76-022.532 , 539.2 , (048.8) Country Spojené státy americké Language angličtina Document kind Books 
book
Call number Barcode Location Sublocation Info F/887-1 (PřF) 3134033711 PřF PřF, KEF - Mgr. Vůjtek In-Library Use Only
Number of the records: 1