Počet záznamů: 1  

Charakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie

  1. Údaje o názvuCharakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie [rukopis] / Sabina Malecová
    Další variantní názvyCharakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie
    Osobní jméno Malecová, Sabina, (autor diplomové práce nebo disertace)
    Překl.názCharacterization of optical thin films by optical emission spectroscopy
    Vyd.údaje2020
    Fyz.popis68 s
    PoznámkaVed. práce Pavel Tuček
    Ved. práce Radim Čtvrtlík
    Oponent Jan Tomáštík
    Dal.odpovědnost Tuček, Pavel, 1980- (školitel specialista)
    Čtvrtlík, Radim (vedoucí diplomové práce nebo disertace)
    Tomáštík, Jan (oponent)
    Dal.odpovědnost Univerzita Palackého. Společná laboratoř optiky (udelovatel akademické hodnosti)
    Klíč.slova Optická emisní spektroskopie * plazma * tenké vrstvy * chemické složení * naprašování * Optical emission spectroscopy * plasma * thin films * chemical composition * sputtering
    Forma, žánr diplomové práce master's theses
    MDT (043)378.2
    Země vyd.Česko
    Jazyk dok.čeština
    Druh dok.PUBLIKAČNÍ ČINNOST
    TitulMgr.
    Studijní programNavazující
    Studijní programFyzika
    Studijní oborNanotechnologie
    kniha

    kniha

    Kvalifikační práceStaženoVelikostdatum zpřístupnění
    00242737-431837815.pdf274 MB26.08.2020
    PosudekTyp posudku
    00242737-ved-608982318.pdfPosudek vedoucího
    00242737-opon-226571390.pdfPosudek oponenta

    Cílem této práce je využití optické emisní spektroskopie v doutnavém výboji k určení prvkového složení primárně tenkých vrstev nebo vícevrstvých systémů.Pomocí této techniky je možné získat hloubkové profily prvkového složení vodivých i nevodivých materiálů. Charakterizovány byly optické multivrstvy, kovové multivrstvy, hybridní anorganické vrstvy a ochranné TiN vrstvy. Pozornost byla zejména věnována nalezení optimalizace parametrů měření a získaní ideálních hloubkových profilů daných vrstev.The aim of this thesis is to use optical emission spectroscopy in glow discharge to determine the elemental composition of primarily thin films or multi-layer systems. By using this technique, it is possible to obtain depth profiles of the elemental composition of conductive and non-conductive materials. Optical multilayers, metal multilayers, hybrid inorganic layers and protective TiN layers were characterized. The afford has been devoted to finding the optimal measurement parameters and obtaining the ideal depth profiles of the layers.

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.