Počet záznamů: 1  

Metoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou

  1. Údaje o názvuMetoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou [rukopis] / Michal Peterek
    Další variantní názvyMetoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou
    Osobní jméno Peterek, Michal (autor diplomové práce nebo disertace)
    Překl.názPhase retrieval method for higher NA objectives and projection optics
    Vyd.údaje2020
    Fyz.popis41
    PoznámkaOponent Jaroslav Řeháček
    Ved. práce Bohumil Stoklasa
    Dal.odpovědnost Řeháček, Jaroslav (oponent)
    Stoklasa, Bohumil (vedoucí diplomové práce nebo disertace)
    Dal.odpovědnost Univerzita Palackého. Katedra optiky (udelovatel akademické hodnosti)
    Klíč.slova Phase retrieval * bodová rozptylová funkce * Debye-Wolfův integrál * Nijboer-Zernike teorie * litografie * Phase retrieval * point spread function * Debye-Wolf integral * Nijboer-Zernike theory * lithography
    Forma, žánr diplomové práce master's theses
    MDT (043)378.2
    Země vyd.Česko
    Jazyk dok.čeština
    Druh dok.PUBLIKAČNÍ ČINNOST
    TitulMgr.
    Studijní programNavazující
    Studijní programFyzika
    Studijní oborOptika a optoelektronika
    kniha

    kniha

    Kvalifikační práceStaženoVelikostdatum zpřístupnění
    00225638-405656128.pdf453.5 MB02.06.2020
    PosudekTyp posudku
    00225638-ved-636068172.pdfPosudek vedoucího
    00225638-opon-492023871.pdfPosudek oponenta
    Průběh obhajobydatum zadánídatum odevzdánídatum obhajobypřidělená hodnocenítyp hodnocení
    00225638-prubeh-519608056.pdf01.03.201702.06.202023.06.20201Hodnocení známkou

    Měření vlnových aberací objektivů a projekční optiky s vyšší numerickou aperturou (NA > 0.3) je problematické díky systematickým chybám pomocné optiky měřícího zařízení. Metoda Phase retrieval z intenzitních skenů fokálního regionu nevyžaduje pomocnou optiku a tudíž tento problém překonává. Je ovšem závislá na použitém difrakčním modelu, který u vyšších numerických apertur nabývá na složitosti a vektorové povahy. Obsahuje též parametry závislé na samotné měřené optické soustavě. Cílem práce je stanovení difrakčního modelu pro tuto metodu při NA > 0.3 a praktická implementace algoritmu, jakož i stanovení vlivu systematických chyb na výsledek. Další výhodou, kterou by měla práce zkoumat, je možnost simultánního měření několika polních bodů najednou, což je vlastnost velmi výhodná pro praktickou justáž optických soustav, kde postupné proměřování jednotlivých polních bodů vede na neprakticky dlouhé justážní časy. Práce by měla adresovat možnost dosažení co nejvyšší rychlosti Phase retrieval metody s cílem alespoň 1~Hz.\\Measurement of wave aberrations of lenses and projection optics on higher numerical aperture (NA > 0.3) is problematic due to systematic errors of the auxiliary optics of the measuring device. The Phase retrieval method from intensity scans of the focal region does not require auxiliary optics and therefore overcomes this problem. However, it strongly depends on the diffraction model used, which acquires complexity and vector nature at higher numerical apertures. The aim of the thesis is to determine the diffraction model for this method at NA > 0.3 and the practical implementation of the algorithm, as well as to determine the effect of systematic errors on the result. Another advantage that the work should examine is the possibility of simultaneous measurement of several field points at once, which is a very advantageous feature for practical adjustment of optical systems, where the gradual measurement of individual field points leads to impractically long adjustment times. The work should address the possibility of achieving the highest possible speed of the Phase retrieval method with a goal of at least 1Hz.

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.