Počet záznamů: 1
Metoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou
Údaje o názvu Metoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou [rukopis] / Michal Peterek Další variantní názvy Metoda Phase retrieval pro objektivy a projekční optiku s vyšší numerickou aperturou Osobní jméno Peterek, Michal (autor diplomové práce nebo disertace) Překl.náz Phase retrieval method for higher NA objectives and projection optics Vyd.údaje 2020 Fyz.popis 41 Poznámka Oponent Jaroslav Řeháček Ved. práce Bohumil Stoklasa Dal.odpovědnost Řeháček, Jaroslav (oponent) Stoklasa, Bohumil (vedoucí diplomové práce nebo disertace) Dal.odpovědnost Univerzita Palackého. Katedra optiky (udelovatel akademické hodnosti) Klíč.slova Phase retrieval * bodová rozptylová funkce * Debye-Wolfův integrál * Nijboer-Zernike teorie * litografie * Phase retrieval * point spread function * Debye-Wolf integral * Nijboer-Zernike theory * lithography Forma, žánr diplomové práce master's theses MDT (043)378.2 Země vyd. Česko Jazyk dok. čeština Druh dok. PUBLIKAČNÍ ČINNOST Titul Mgr. Studijní program Navazující Studijní program Fyzika Studijní obor Optika a optoelektronika kniha
Kvalifikační práce Staženo Velikost datum zpřístupnění 00225638-405656128.pdf 45 3.5 MB 02.06.2020 Posudek Typ posudku 00225638-ved-636068172.pdf Posudek vedoucího 00225638-opon-492023871.pdf Posudek oponenta Průběh obhajoby datum zadání datum odevzdání datum obhajoby přidělená hodnocení typ hodnocení 00225638-prubeh-519608056.pdf 01.03.2017 02.06.2020 23.06.2020 1 Hodnocení známkou
Měření vlnových aberací objektivů a projekční optiky s vyšší numerickou aperturou (NA > 0.3) je problematické díky systematickým chybám pomocné optiky měřícího zařízení. Metoda Phase retrieval z intenzitních skenů fokálního regionu nevyžaduje pomocnou optiku a tudíž tento problém překonává. Je ovšem závislá na použitém difrakčním modelu, který u vyšších numerických apertur nabývá na složitosti a vektorové povahy. Obsahuje též parametry závislé na samotné měřené optické soustavě. Cílem práce je stanovení difrakčního modelu pro tuto metodu při NA > 0.3 a praktická implementace algoritmu, jakož i stanovení vlivu systematických chyb na výsledek. Další výhodou, kterou by měla práce zkoumat, je možnost simultánního měření několika polních bodů najednou, což je vlastnost velmi výhodná pro praktickou justáž optických soustav, kde postupné proměřování jednotlivých polních bodů vede na neprakticky dlouhé justážní časy. Práce by měla adresovat možnost dosažení co nejvyšší rychlosti Phase retrieval metody s cílem alespoň 1~Hz.\\Measurement of wave aberrations of lenses and projection optics on higher numerical aperture (NA > 0.3) is problematic due to systematic errors of the auxiliary optics of the measuring device. The Phase retrieval method from intensity scans of the focal region does not require auxiliary optics and therefore overcomes this problem. However, it strongly depends on the diffraction model used, which acquires complexity and vector nature at higher numerical apertures. The aim of the thesis is to determine the diffraction model for this method at NA > 0.3 and the practical implementation of the algorithm, as well as to determine the effect of systematic errors on the result. Another advantage that the work should examine is the possibility of simultaneous measurement of several field points at once, which is a very advantageous feature for practical adjustment of optical systems, where the gradual measurement of individual field points leads to impractically long adjustment times. The work should address the possibility of achieving the highest possible speed of the Phase retrieval method with a goal of at least 1Hz.
Počet záznamů: 1