Počet záznamů: 1
Metody tvorby základních struktur pro nanoelektroniku
Údaje o názvu Metody tvorby základních struktur pro nanoelektroniku [rukopis] / Tomáš Ingr Další variantní názvy Metody tvorby základních struktur pro nanoelektroniku Osobní jméno Ingr, Tomáš (autor diplomové práce nebo disertace) Překl.náz Methods of creation basic structures for nanoelektronics Vyd.údaje 2014 Fyz.popis 73 s. (86 251 znaků) + 1 CD Poznámka Oponent Miroslav Mašláň Ved. práce Milan Vůjtek Dal.odpovědnost Mašláň, Miroslav, 1957- (oponent) Vůjtek, Milan (vedoucí diplomové práce nebo disertace) Dal.odpovědnost Univerzita Palackého. Katedra experimentální fyziky (udelovatel akademické hodnosti) Klíč.slova Nanolitografie * mikroskop AFM Explorer * NTEGRA Aura * elektronová litografie * lokální oxidační nanolitografie * lokální anodická oxidace * Nanolitography * microscope AFM Explorer * NTEGRA Aura * electron beam lithography * local oxidation nanolithography * local anodic oxidation Forma, žánr diplomové práce master's theses MDT (043)378.2 Země vyd. Česko Jazyk dok. čeština Druh dok. PUBLIKAČNÍ ČINNOST Titul Mgr. Studijní program Navazující Studijní program Fyzika Studijní obor Nanotechnologie 
kniha
Kvalifikační práce Staženo Velikost datum zpřístupnění 00187480-866511404.docx 28 10.3 MB 09.05.2014 Posudek Typ posudku 00187480-ved-735823546.pdf Posudek vedoucího 00187480-opon-784621233.pdf Posudek oponenta Průběh obhajoby datum zadání datum odevzdání datum obhajoby přidělená hodnocení typ hodnocení 00187480-prubeh-512372535.pdf 18.11.2013 09.05.2014 02.06.2014 1 Hodnocení známkou
Tato diplomová práce se zaobírá tvorbou nanostruktur pomocí lokální oxidační nanolitografie. Na přístroji NTEGRA Aura se provádí lokální oxidační nanolitografie a přístroj mikroskop AFM Explorer se upravuje pro provoz lokální oxidační nanolitografie.This master thesis is directed for the creation of nanostructures by local oxidation nanolithography. NTEGRA Aura is used for local oxidation nanolithography and microscope AFM Explorer is modified for the operation of local oxidation nanolithography.
Počet záznamů: 1